EscaLab QXi X射线光电子能谱仪
Thermo Scientific™ ESCALAB™ QXi X 射线光电子能谱仪（XPS）是ESCALAB 系列产品。作为可扩展的多技术表面分析平台，ESCALAB QXi有着空前的灵活性和完备的专业配置选项。汇聚前沿技术，打造出高效便捷的软件系统，高性能的硬件配置，高效的生产力。强大的Thermo ScientificTM AvantageTM 软件系统集系统控制、设备状态实时监控与调节、数据采集、数据处理、报告生成等多功能于一身，操作便捷，快速高效。
卓越的分析性能
● 表面元素定性、定量分析
能量分析器设计和双晶微聚焦单色化X射线源结合，实现了卓越的能量分辨率
● 快速高分辨平行成像
化学成像: 空间分辨率优于1um
回溯成谱: 回溯区域优于6um
● 无需背底修正探测器
电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成像的需求。
空间连续的电阻阳极探测器创新技术，使得XPI成像分辨率达1um，同时所得数据无探测器背底特征，无需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。
● 微聚焦单色源
分析尺寸在20μm～900μm之间连续可调
卓越的灵敏度和能量分辨率
提供不少于20个靶材工作点，确保仪器终身使用过程中阳极靶无需更换
● 自动化高效离子剖析源
新型Ar离子团簇与传统单粒子离子源相结合，用于各类材料的深度剖析研究
● 高精确度角分辨XPS
软件控制分析位置和角度，确保数据的精确性和重复性
全套的ARXPS数据处理工具，可对纳米尺度的多层结构器件进行层厚计算
● 一键式荷电补偿
配有双束电荷中和系统，可以根据实际样品的需要独立控制开启。
适用于所有不导电样品及粗糙表面的荷电中和
● 强大的Avantage分析软件
全数字化仪器控制
系统软件可视化操作
全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库
自定义数据采集到报告生成模式
操作简便
● 高度自动化
分析区域和角度分辨可选
自动化气体调节和真空控制
● 随时校准
能量标尺和仪器功函数的校准
离子枪定位和离子束聚焦
● 鼠标点击式样品导航
实时显示分析位置
高照明强度、强度可调
设计灵活
● ISS、ARXPS与REELS为标准配置
● 多功能进样室为标准配置
● UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可选
● 可选的样品预处理附件，包括：
样品制备台、晶体清洁器、样品刮片器
样品加热/冷却装置
溅射清洁离子枪
蒸发器、高压反应室